液环式真空泵的结构及注意事项

     液环式真空泵是以液体为工质的粗泵，一种工作介质为水的称为水环真空泵，另一种工作介质为油、硫酸和醋酸，水环式真空泵在工业上应用广泛。

     液环真空泵可分为单级和双级，以及单作用和双作用的区别。单级和两级真空泵是指其叶轮的级；单动/双动是指叶轮/壳体的形式。单作用叶轮真空泵的叶轮旋转一周，气体经历一次吸入/排出；双作用真空泵的叶轮旋转一周，经历两次气体吸入和排出。

选择真空泵时，应注意以下几点：

1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如：真空镀膜要求1× 真空泵的真空度应至少为5× 10-6mmHg。通常，泵的真空度比真空设备的真空度高半到一个数量级。

2.正确选择真空泵的工作点。每台泵都有一定的工作压力范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmhg，在如此宽的压力范围内，泵的泵速随压力变化，其稳定工作压力范围为5× 10-4~5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作点应选择在该范围内，不允许在10-8mmhg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以工作在10-2mmhg，但其工作压力应小于1× 10-5mmhg更好。

3.真空泵在其工作压力下，应能将真空设备工作过程中产生的气体全部排出。

4.正确组合真空泵。由于真空泵的选择性抽气，有时一种泵不能满足抽气要求，因此需要多台泵的组合互补才能满足抽气要求。例如，钛升华泵对氢有很高的抽运速度，但不能抽氦，而三极溅射离子泵（或双极非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽运速度。两者的结合将使真空装置获得更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预抽真空；有的真空泵出口压力低于大气压，需要预泵，所以需要结合泵的使用。

5.油污染的真空设备要求。如果设备对无油要求严格，则应选择各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等；如果要求不严格，可选择有油泵，加上一些防油污染措施，如冷阱、挡板、隔油池等，也能满足真空清洁的要求。

6.了解抽出气体的成分、气体中是否含有可凝蒸汽、是否有颗粒粉尘、是否有腐蚀性等，在选择真空泵时，需要了解气体成分，并为被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒物和腐蚀性气体，应考虑在泵的进口管道上安装冷凝器、除尘器等辅助设备。

7.真空泵排出的油蒸气对环境有何影响。如果环境不允许污染，可以选择无油真空泵，或将油蒸气排到室外。

8.真空泵运行过程中产生的振动是否对工艺和环境有影响。如不允许，应选用无振动的泵或采取防振措施。

9.真空泵的价格、运行维护费用。