真空泵系统的使用与维护方法

在真空技术中人们把被抽容器，真空泵、真空阀门、储气罐，挡板、阱、过滤器、冷凝器以及各种真空管道等元件连接起来，组成能够获得一定真空度，并且能够满足工艺要求的装置。这种装置称为真空泵系统。那么，我们在实际操作中怎样使用和维护真空系统呢？

真空系统的性能和真空泵一样，由系统的极限真空度和系统的抽气速率决定。各种真空系统中除粗真空系统只由一种泵组成外，其他真空系统都由两种或两种以上的真空泵组成。

组成真空系统之前首先要选泵，选择直接对容器进行抽空的真空泵—主泵时，应该考虑的问题是:被抽容器所要求的工作压强，被抽气体的性质和数量以及设备投资和运转费用等经济指标。

真空泵系统的使用与维护也非常重要

1、要有好的工作环境。

室内温度10~30℃，相对湿度不大于65%，冷却水进水温度不超过25℃，电源的电压允许波动范围±10%。

2、根据真空系统的实际情况制定合理的操作规程。

第一次使用时要对所有的零部件进行擦洗和烘烤，检查电源线路是否正常，电源电压是否符合要求。检查各组件如机械泵、扩散泵、阀门是否正常，第一次使用时可能因长期搁置，真空系统中各组件表面和泵油吸附很多水蒸汽和各种气体，所以抽真空时很可能达不到要求的真空度。这时可以反复的作二、三次放气和抽真空，使各组件和泵油充分的脱气。如果第三次抽气时真空度仍达不到要求，就说明该系统可能漏气了。

真空元件，如阀门、捕集器、除尘器和真空泵等彼此联接时，应尽量作到抽气管路短，管道流导大，导管直径一般不小于泵口直径，这是体系设计的一条重要准则。但同时也要考虑到装置和检修便利。有时为了防振和削减噪音，允许机械泵设置在接近真空室的泵房内。

机械泵(包括罗茨泵)有振荡，要避免振荡涉及整个体系，一般用软管减振。软管有金属和非金属的两种，不管选用那种软管要保证在大气压力效果下不被压瘪。

真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

启动系统，主真空泵组开始工作，直到真空罐内真空度达到设定的上限值，真空泵自动停止运行，中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时，备用真空泵组自动启动。由此循环往复，真空系统的真空度能够维持稳定的真空源，满足生产的要求。