干式真空泵为什么要用氮气呢？

       干式真空泵为什么要用氮气呢？相信大家对于这个问题的答案就在下面的阐述中，对此请看下面的总结！

1、干式真空泵里冲入氮气是为了在真空泵内壁形成微弱保护气膜，氮气压力不宜过大，也不宜过小，过大会影响抽真空效果和增加能耗；过小可能导致形不成保护效果。

2、抽腐蚀性气体的泵会用到氮气，氮气对泵进行吹扫，延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀。

3、是真空镀膜工艺中用到的一些气体对干式真空泵有腐蚀作用，所以会采用这种泵。但是墙体里通的氮气和泵用的是分开的。

4、冲多少单位的氮气后就能镀膜出他们需要的颜色。有些颜色用乙炔。在实际运用中，多数使用氩气。

5、气密，稀释制程气体。减轻腐蚀及制程附着。

6、氮气在没有一定的温度、压力或者是催化剂等辅助条件下，很难与外界发生反应。因此在泵系统清洗过程中，利用氮气吹扫，更为安全可靠。

7、氮气的吸附热小，吸附于物体表面的时间短。当氮气吸附于干式真空泵的器壁表面时，将会很容易被抽走。真空系统清洗中的氮气吹扫正式利用了它的这个特性。在真空镀膜中，用干燥氮气吹扫清洗过真空系统后，氮分子会首先吸附于真空系统的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分子沾满后，其他的分子如水分子等就会减少。因而真空系统的整个抽气时间就会大大减少。